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PLASMA SCRUBBER
Gas Scrubber PLASMA SCRUBBER
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프라즈마 스크러버(Plasma Scrubber)”
반도체나 디스플레이 공정 등에서 발생하는 유해 가스나 부산물을 고온의 플라즈마(Plasma)를 이용해 분해·정화하는 장치
공정에서 나온 가스를 태워 없애는 ‘가스 정화장치’ 중에서도 가장 고온·고에너지 방식에 속한다.
● 처리 가능한 주요 가스
불소계 가스: NF₃, CF₄, C₂F₆, SF₆
염소계 가스: Cl₂, HCl
실란계 가스: SiH₄, SiCl₄
브롬계 가스: HBr
기타 산화성/환원성 가스
반도체나 디스플레이 공정 등에서 발생하는 유해 가스나 부산물을 고온의 플라즈마(Plasma)를 이용해 분해·정화하는 장치
공정에서 나온 가스를 태워 없애는 ‘가스 정화장치’ 중에서도 가장 고온·고에너지 방식에 속한다.
● 처리 가능한 주요 가스
불소계 가스: NF₃, CF₄, C₂F₆, SF₆
염소계 가스: Cl₂, HCl
실란계 가스: SiH₄, SiCl₄
브롬계 가스: HBr
기타 산화성/환원성 가스
- ● 장점
- 고농도, 다종 혼합가스 처리 가능
- 불완전 연소 없이 완전 분해 가능
- 반응 잔류물 적음
- 장시간 안정 운전
- ● 단점
- 초기 설치비용이 높음
- 전력 소모가 큼
- 유지보수 시 전극 및 절연부 교체 필요
- 냉각 및 배수 관리 중요 (HF 발생 등)
