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EXHAUST SYSTEM
Precursor Supply System EXHAUST SYSTEM
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Exhaust System은 반도체 생산 설비에서 사용되는 배기가스를 법적 규제치 이하로 처리하여 대기중으로 배출하기 위한 설비이며, Gas 및 Chemical의 종류에 따라서
Acid/ Alkali, Heat/General, Organic, 비상배기 등으로 분리하여 배기 Duct 를 통해 대기 중으로 방출한다
Acid/ Alkali, Heat/General, Organic, 비상배기 등으로 분리하여 배기 Duct 를 통해 대기 중으로 방출한다
