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Process Cooling Water System
Precursor Supply System Process Cooling Water System
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고순도 냉각수를 Circulation시키고 각 생산설비에서 발생하는 열을 회수하는데 사용하며, 배관 내의 Particle 방지를 위하여 5 Micron Filter를 통과하여 생산장비에 공급된다.
