삼화이엔지 주식회사
Clean Dry Air System은 압축공기중에 포함되는 불순물을 기준값 내로 제거하여 압축공기를 공급하는 System으로 생산장비의 Air Valve 동작 및 전송장치 기타 공압기에 사용된다
Exhaust System은 반도체 생산 설비에서 사용되는 배기가스를 법적 규제치 이하로 처리하여 대기중으로 배출하기 위한 설비이며, Gas 및 Chemical의 종류에 따라서 Acid/ Alkali, Heat/General, Organic, 비상배기 등으로 분리하여 배기 Duct 를 통해 대기 중으로 방출한다
고순도 냉각수를 Circulation시키고 각 생산설비에서 발생하는 열을 회수하는데 사용하며, 배관 내의 Particle 방지를 위하여 5 Micron Filter를 통과하여 생산장비에 공급된다.
WWT System은 세정장비 등에서 발생되는 폐수를 Acid, Alkali, Organic 등으로 종류에 따라 분리하여 배출시키고 법적 규제치 이하로 폐수를 정화시키는 System이다.
