삼화이엔지 주식회사
WWT System은 세정장비 등에서 발생되는 폐수를 Acid, Alkali, Organic 등으로 종류에 따라 분리하여 배출시키고 법적 규제치 이하로 폐수를 정화시키는 System이다.
Clean Dry Air System은 압축공기중에 포함되는 불순물을 기준값 내로 제거하여 압축공기를 공급하는 System으로 생산장비의 Air Valve 동작 및 전송장치 기타 공압기에 사용된다
Exhaust System은 반도체 생산 설비에서 사용되는 배기가스를 법적 규제치 이하로 처리하여 대기중으로 배출하기 위한 설비이며, Gas 및 Chemical의 종류에 따라서 Acid/ Alkali, Heat/General, Organic, 비상배기 등으로 분리하여 배기 Duct 를 통해 대기 중으로 방출한다
고순도 냉각수를 Circulation시키고 각 생산설비에서 발생하는 열을 회수하는데 사용하며, 배관 내의 Particle 방지를 위하여 5 Micron Filter를 통과하여 생산장비에 공급된다.
