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BSGS
Gas supply System BSGS
본문
Bulk Specialty Gas System (대용량 특수 가스 공급 시스템)
- BSGS는 반도체, 디스플레이 등 첨단 제조 시설에서 SiH₄(실란), NF₃, NH₃, N₂O, HCl 같은 위험 가스를 대용량·연속·무중단으로 공급하기 위해 설계된 시스템 입니다.
- 대용량의 가스용기에 저장된 특수가스를 안전하고 오염없이 공급할 수 있도록 설계된 장치 히팅자켓 & 라인 및 H.V.S 적용으로 액화가스의 대유량 사용에 적합함.
- 가스 특성별 안전시스템 적용으로 가스누출시 자동차단.
- 통신기능 적용으로 GMS구축 원거리 제어 가능.
상세정보
DESCRIPTION
가스 캐비닛(BSGS)은 위험성이 높은 독성가스 및 고압가스 사용 시, Process Gas의 공급 압력을 일정하게
유지하여 분배장치(VMB/VMP) 또는 Main 공정장비까지 안전하게 공급하는 장치로 비상 차단기능 및 배기가
가능하도록 설계되어 있습니다.
본 장비는 용기의 수량에 따른 다양한 구성을 제공하며, 가스의 화학적 특성에 따라 Gas Sensor, Sprinkler,
Loadcell, Heating 등의 기능을 사용자의 요구에 맞추어 최적의 솔루션으로 제공합니다.
또한, 한국가스안전공사(KGS)의 엄격한 제조시설, 기술 및 검사기준을 모두 통과한 KGS인증 가스 캐비넷
제품을 공급함으로써 현장의 안전성과 공정의 신뢰성을 동시에 보장합니다.
