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C.C.C.S
Gas supply System C.C.C.S
본문
- Central Chemical Supply System, 중앙 화학물질 공급 시스템
- C.C.C.S는 반도체 제조 공정(특히 세정, 식각, CMP 등)에 필수적인 고순도 화학물질
- (예: 불산, 황산, 과산화수소, 슬러리 등)을 유조차나 대형 탱크(Cubitainer)로부터 수령하여,
- 공정 장비가 있는 클린룸 내부까지 중단 없이, 그리고 오염 없이 자동 공급하는 전체 시스템을 말합니다.
- 현재 반도체, 디스플레이, 태양광설비분야에 광범위하게 적용되고 있음
상세정보
DESCRIPTION
C.C.C.S(Chemical Central Conditioning/Control System)**는 반도체, 디스플레이 및 태양광 제조 공정에
필수적인 초정밀 화학약품을 공정 설비가 요구하는 유량과 농도에 맞춰 안전하게 공급하는 중앙 약액 공급
시스템입니다.
본 장비는 외부에서 반입된 원표 약품을 저장 탱크에 충진한 후, 사용자의 요구에 따라 정밀한 희석 및 블랜딩
(Blending) 과정을 거쳐 공정 라인으로 전달하며, 이 과정에서 펌프 또는 질소(N2) 가압 방식을 통해 일정한
압력과 유량을 유지합니다.
또한, 고순도 필터링 시스템을 통해 약액 내 미세 입자를 완벽히 제거함은 물론, PLC 및 터치스크린 기반의
전자동 제어 시스템을 구축하여 실시간 모니터링과 누액 감지 등 최상의 공정 신뢰성과 작업 안전성을 보장합니다
