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VMB VMP
Gas supply System VMB VMP
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- Toxic Gas 및 고압가스의 사용 시 Gas Cabinet에서 공급된 Process Gas를 일정압력으로 다수의 Main 공정장비로 공급하여주며 비상차단 기능 및 배기가 가능하도록 설계된 장치
