DESCRIPTION

 　　　　　　　　　　　　 가스 캐비닛은 위험성이 높은 독성가스 및 고압가스의 사용시,가스 분배 시스템(Gas Distribution System)

 　　　　　　　　　　　　 고객사의 안전하고 효율적인 가스 공급 환경을 위해 최적의 가스 분배 솔루션을 제공합니다.

 　　　　　　　　　　　　 취급 가스의 성질과 공정 환경에 따라 최적화된 VMB와 VMP 라인업을 확인해 보세요.

 　　　　　　　　　　　　 ■VMB(Valve Manifold Box)

 　　　　　　　　　　　　 가스 캐비닛으로부터 공급받은 고위험 가스(독성,가연성,부식성)를 다수의 공정 장비로 정밀하게 분배하는

 　　　　　　　　　　　　 밀폐형 안전 장치 입니다. 내부 누출 시 즉각적인 감지와 강제 배기가 가능한 구조로 설계되어 공정의 안정성을

    　　　　　　　　　　　 극대화합니다.

 　　　　　　　　　　　　 VMB는 분배가 필요한 공정 라인의 수와 유량에 따른 다양한 채널 구성을 제공합니다.

 　　　　　　　　　　　　 가스 특성 및 공정 조건에 따라 최적화된 기능을 선택할 수 있습니다.

    　　　　　　　　　　　 반도체 및 디스플레이 제조 환경의 엄격한 안전 기준과 기술 규격을 준수하여, 정밀한 가스 유량 제어와 철저한

    　　　　　　　　　　　 검증을 통해 최고의 신뢰성을 보증합니다.

 　　　　　　　　　　　　 ■VMP(Valve Manifold Panel)

 　　　　　　　　　　　　 질소(N2), 아르곤(Ar)과 같은 비활성 가스(Inert Gas)를 여러 공정 장비로 효율적으로 분배하기 위한 개방형

 　　　　　　　　　　　　 판넬시스템입니다. 복잡한 가스 배관 라인을 하나로 통합 관리함으로써 유틸리티 구역의 공간 활용도를 극대화합니다.

  　　　　　　　　　　　　VMP는 설치 환경과 분기되는 장비 수량에 맞춰 대형 및 복합적인 가스 구성을 제공합니다.

 　　　　　　　　　　　　 공정 요구 사항과 가스 유량에 따라 최적의 부품을 선택할 수 있습니다.

    　　　　　　　　　　　 반도체 고순도 가스 공급 노하우를 바탕으로 설계되어 안정적인 분기 공급을 실현하며, 합리적인 비용으로 클린룸 및

    　　　　　　　　　　　 유틸리티 환경에 최적화된 가스 분배 시스템을 구축해 드립니다.